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ヨネヤマ サトル
YONEYAMA Satoru
米山 聡 所属 青山学院大学 理工学部 機械創造工学科 職種 教授 |
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| 言語種別 | 英語 |
| 発行・発表の年月 | 2022/01 |
| 形態種別 | 学術雑誌 |
| 査読 | 査読あり |
| 招待論文 | 招待あり |
| 標題 | "Estimating Residual Stresses of Silicon Wafer from Measured Full-field Deflection Distribution" |
| 執筆形態 | 共同 |
| 掲載誌名 | Optics and Lasers in Engineering |
| 掲載区分 | 国外 |
| 出版社・発行元 | Elsevier |
| 巻・号・頁 | 148,pp.106781 |
| 著者・共著者 | Y. Obata, K. Sekino, K. Takeo and S. Yoneyama |