シゲサト ユウゾウ
SHIGESATO Yuuzou
重里 有三
所属
青山学院大学 理工学部 化学・生命科学科
職種
教授
言語種別
日本語
発行・発表の年月
2022
形態種別
学術雑誌
査読
査読あり
標題
透明導電膜スパッタ成膜プロセスの基礎
執筆形態
共同
掲載誌名
応用物理
掲載区分
国内
巻・号・頁
91(3),160-163頁
著者・共著者
重里有三、岡伸人